- Art
- 16
- Verfahren
- neg-w-call
- Referenznummer
- 327172-2026
- CPV
- 31712100
Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm de polissage mécano-chimique. L’équipement devra pouvoir polir des films…
métallique tels que le cuivre ou le tungstène ainsi que des matériaux barrières comme le tantale ou le titane. L’équipement devra également être capable de polir des plaques transparentes. Il devra être équipé de 4 plateaux et 2 cleaner pour pouvoir traiter 2 procédés en parallèle. Il devra être éq
uipé des têtes de polissage et des systèmes d’end-point de dernière génération permettant l’ajustement automatique du profil de polissage. L’outil devra par la suite intégrer un module de métrologie in-situ. Le présent marché comporte l'opt