FBH-03 Electron beam evaporation enabling lift-off-processes for 200 mm wafers
Ausschreibungsinformationen
TED EUBerlin, Deutschland
- Art
- 7
- Referenznummer
- 401361-2026
- Geschätzter Wert
- 1,386,000 EUR
- CPV
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Der Auftraggeber beabsichtigt die Durchführung eines Vergabeverfahrens zur Beschaffung eines Elektronenstrahl-Verdampfungssystems für die Halbleiterfertigung. Gegenstand ist die Lieferung einer Anlage zur Metallabscheidu…
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