Consulta preliminar de mercado relativa al suministro e instalación de un equipo de litografía óptica de proyección en el ultravioleta profundo (DUV), destinado al Instituto de Microelectrónica de Barcelona de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas. Financiado por la Chips Joint Undertaking a través de la Call for Expression of Interest for the selection of a Hosting Consortium de la convocatoria Pilot Line on Advanced Photonic Integrated Circuits (DIGITAL-Chips-2024-CfEoI-CPL-5). Financiado por la Secretaría de Estado de Telecomunicaciones e Infraestructuras Digitales en la Empresa Común de Chips de la Unión Europea (Chips JU). Programa «Chips JU – Pilot Lines» en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia - financiado por la Unión Europea - NextGenerationEU. SOL_AYU 4105.