Elektronenstrahllithografieanlage
Frist:14 May 2024, 00:00 CEST
Ausschreibungsinformationen
TED EUPaderborn, Germany
- Art
- 16
- Verfahren
- open
- Referenznummer
- 220921-2024
- Geschätzter Wert
- 2,140,000 EUR
- CPV
- 31712100
Ausgeschrieben wird eine Elektronenstrahllithograffieanlage die ein Kernstück der gruppenübergreifenden Infrastruktur im Reinraum der Universität Paderborn ist. Diese wird zur Entwicklung von waferskaligen Bauelementen b…