Lieferung einer Sputteranlage (Kathodenzerstäubungs-Anlage) gem. Leistungsbeschreibung

Kathodenzerstäubungs-Anlage (Sputteranlage) mit einer integrierten Vakuumschleuse und mit allen für den Sputterprozess erforderlichen Komponenten, gem. Leistungsbeschreibung.

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) benötigt zur Herstellung von supraleitenden Dünnschichten aus Niob (Nb), Niob-Titan (NbTi), Niob-Nitrid (NbN) und Niob-Titan-Nitrid (NbTiN) mittels reaktiven Sputterns eine