- Art
- 29
- Verfahren
- open
- Referenznummer
- 130494-2025
- Geschätzter Wert
- 324,794 EUR
- CPV
- 38000000
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt, für Forschungszwecke einen (1) vielseitigen und benutzerfreundlichen Elektronenstrahlverdampfer anzuschaffen, welcher die Herstellung von Dünnschichten mit höchster F…
lexibilität hinsichtlich der verwendbaren Materialien, Materialqualität und Präzision ermöglicht. Das System soll in erster Linie zur Herstellung photonischer und plasmonischer Nanostrukturen wie z.B. Metamaterialien und -oberflächen, Nanoantennen und photonischer Kristalle eingesetzt werden. Dies s
oll einerseits durch Elektronenstrahlverdampfung in Kombination mit Elektronenstrahl-lithographie und einem Lift-Off Prozess und andererseits durch die Herstellung von funktionellen Substraten und Mehrschichtsystemen für optische Nano- und