- Art
- 29
- Verfahren
- neg-w-call
- Referenznummer
- 219801-2026
- Geschätzter Wert
- 1 EUR
- CPV
- 31712100
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir.…
L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi
qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La