Vapour-HF-Ätzsystem
Frist:05 Mar 2026, 00:00 CET
Ausschreibungsinformationen
TED EUJena, Germany
- Art
- 16
- Verfahren
- open
- Referenznummer
- 51395-2026
- CPV
- 38000000
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstant…