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Laserlithographie

Frist:03 Aug 2026, 00:00 CEST

Ausschreibungsinformationen

TED EU

Köln, Germany

Art
16
Verfahren
open
Referenznummer
458627-2026
CPV
38000000

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quan

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