Scanning Electron Microscopy (SEM)

gebungsbedingungen für Proben zu betreiben, einschließlich Hochvakuum, Niedrigvakuum (bis zu 2600 Pa H₂O oder 4000 Pa N₂). Hohe Auflösung (z. B. 1.0 nm bei 30 kV SE in Hochvakuum und 1.3 nm bei 30 kV SE im Niedrigvakuum oder ESEM-Modus). Zusatzfunktionen sind insbesondere Niedrigvakuummodus, SE, BSE

, EDX, EBSD, Kammergröße). Adaptierungsmöglichkeiten der Kammer sowie deren Türe, um den speziellen Anforderungen für die Durchführung der UHF-Probenaufbauten gerecht zu werden