System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Frist:09 Feb 2024, 00:00 CET
Ausschreibungsinformationen
TED EUFrankfurt (Oder), Germany
- Art
- 16
- Verfahren
- open
- Referenznummer
- 18570-2024
- CPV
- 38000000
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS