Dostawa trzech mikroskopów do analizy struktur półprzewodnikowych do pracy w świetle odbitym i przechodzącym

bazie GaN. Urządzenia te powinny umożliwiać automatyczną analizę stanu powierzchni podłoży pod kątem obecności rys, zanieczyszczeń i pyłków. Ocena jakości powierzchni po każdym etapie przygotowania musi być przeprowadzana w identycznych warunkach, czyli za pomocą urządzeń o jednakowym wyposażeniu i

oprogramowaniu. Mikroskopy mają zapewniać pracę w trybie automatycznym zgodnie z ustaloną procedurą i konfiguracją, co pozwoli na powtarzalną analizę według zdefiniowanych programowo parametrów. Szczegółowy opis przedmiotu zamówienia znajd