GARA A PROCEDURA APERTA SOPRA SOGLIA COMUNITARIA PER LA FORNITURA DI UN CLUSTER INTEGRATO in GLOVE-BOX PER DEPOSIZIONE TRAMITE ATOMIC LAYER DEPOSITION, EVAPORAZIONE TERMICA e SPUTTERING

iali organici, sistema di sputtering e sistema per atomic layer deposition. Tale sistema integrato verrà utilizzato per la fabbricazione di dispositivi a film sottile come per esempio celle solari a perovskite.

Fornitura di un sistema cluster di deposizione di film sottili basati su deposizione fisica che integri in una glovebox condizionata in azoto i seguenti sistemi: sistema di evaporazione termica di metalli, ossidi e mater