- Art
- 16
- Verfahren
- neg-w-call
- Referenznummer
- 379009-2024
- CPV
- 31712100
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de type wet bench pour sa salle-blanche. L’équipement vise des nettoyages FEOL pour une large gamme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra …
réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et préparés d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet c
himique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamètres, épaisseurs et matériaux.