Direktschreiblithographie-System
Ausschreibungsinformationen
DE_BKMSKöln, Germany
- Art
- goods (award)
- Verfahren
- Open
- Referenznummer
- 56f8b93a-447d-4989-80fa-9a43365b7ce5
- CPV
- 38000000
Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein un…