Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithographie-Systemen
Ausschreibungsinformationen
DE_BKMSHamburg, Germany
- Art
- goods (tender)
- Verfahren
- Restricted
- Referenznummer
- e2025422-2268-465e-b007-e6c64cd01386
- CPV
- 38341100
Es ist beabsichtigt, ein Scanning electron microscopy (SEM) system with integrated elect-ron beam lithography (EBL) zu beschaffen. Nähere Einzelheiten sind den Vergabeunterlagen, insb. Im Lastenheft zu entnehmen.