Beschaffung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Ausschreibungsinformationen
DE_BKMSKarlsruhe, Germany
- Verfahren
- Negotiated without prior call for competition
- Referenznummer
- c34a1950-ea6c-4cc9-a1df-bc4f8c12d365
- CPV
- 38000000
ICP-RIE-Plasmaätzanlage für chlorhaltige Gase – Beschaffung für den weiteren Ausbau des Kompetenzzentrum für Hochauflösende Supraleitende Sensoren (HSS). --- Das Karlsruher Institut für Technologie (KIT) beabsichtigt, da…