Fourniture d’un équipement de collage direct automatique pour les plaques de 4, 6 et 8 pouces avec une chambre UV/O3, une chambre d'activation du plasma, une chambre de nettoyage et une chambre de collage infrarouge pour le CEA de GRENOBLE

ettoyage et une chambre de collage infrarouge. Le marché envisagé comprend les options suivantes : > Options à chiffrage obligatoire : - Option n°1 : Compatibilité 200 mm (8’’) (telle que précisée au §-3.1.1 du cahier des charges) - Option n°2 : Générateur O3 (telle que précisée au §-3.1.2 du cahier

des charges) - Option n°3 : Formation maintenance niveau 1 (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) - Option n° 4 : Formation maintenance avancée (telle que précisée au §-9 du cahier des charges) > Option à chiffrage facultatif :