Dostawa dynamicznego spektrometru mas jonów wtórnych.

podłoży GaN pod kątem zawartości intencjonalnie wprowadzonych domieszek jak i nieintencjonalnych zanieczyszczeń. Urządzenie musi zapewnić wykonanie precyzyjnych analiz pierwiastkowych i izotopowych w półprzewodnikach azotkowych, takich jak kryształy domieszkowane i implantowane. Urządzenie musi umoż

liwiać profilowanie głębokościowe z wysoką rozdzielczością oraz szerokim zakresem dynamicznym, a także oferować doskonałe limity detekcji dzięki dwóm źródłom jonów o wysokiej gęstości (O2+ i Cs+). Spektrometr musi być wyposażony w system au