Erweiterung der vorhandenen galvanischen Abscheideanlage Solstice S8 um zusätzliche Prozessmodule und Wafergrößen

einer Gold-Abscheidekammer, einer Vacuum-Pre-Wet-Chamber sowie weiterer für die Verarbeitung von 150 mm- und 200 mm-Wafern erforderlicher Komponenten einschließlich Softwareanpassung. Die nachzurüstenden Komponenten sind technisch, funktional und steuerungsseitig eng mit der vorhandenen Bestandsanl

age verknüpft. Ein Wechsel des Unternehmens würde zur Integration von Lieferleistungen mit abweichenden technischen Merkmalen in eine bestehende Systemarchitektur führen und voraussichtlich technische Unvereinbarkeiten bzw. unverhältnismäßi