Fourniture d'un équipement de recuit laser microseconde en 200 et 300mm

venir. L'équipement devra comporter un module de traitement avec surveillance in-situ des transitions thermiques, ainsi qu'une interface automatique pour wafers de 200 mm et 300 mm. Le recuit devra pouvoir se faire sous atmosphères contrôlées (azote, argon, oxygène, hydrazine). Le marché comporte :

• Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La formation de maintenance premier niveau pour 3 personnes conformément à l’article 9 du cahier des charges o Option n°2 : Deuxième année de garantie pour l’Equipement • Des option