Beschaffung eines modularen maskenlosen Laserlithographiesystems inkl. Zubehör zur Verbesserung spezifischer Graustufenbelichtungen.

in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung von halbleitenden, metallischen und dielektrischen Dünnschichten sowie von 2D-Materialien. Es steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum

für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch ext