Adquisición de un equipo de microscopio de escaneo electrónico con funciones de metrología y litografía

res. Se trata, concretamente, de la adquisición un microscopio de escaneo electrónico (SEM, Scanning Electron Microscope por sus siglas en inglés) que permita la visualización de muestras, pero que además incluya funciones de metrología (medición mediante software de dimensiones y obtención de estad

ísticos) y litografía (exposición de patrones a escala nanométrica sobre resinas sensibles).