Lieferung eines Atomic Layer Deposition system PEALD
Tender information
TED EUKarlsruhe, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- neg-wo-call
- Ref. number
- 54782-2025
- Estimated value
- 289,605 EUR
- CPV
- 42990000
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines GEMStar XT-DP, Thermal and Plasma enhanced Atomic Layer Deposition system PEALD with dual manifold zones up to 8 precursors including 2 precursor bottles + heater j…