Fourniture d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL
Tender information
TED EUGrenoble, France
- Type
- 29
- Procedure
- neg-w-call
- Ref. number
- 539939-2025
- Estimated value
- 1 EUR
- CPV
- 31712100
Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement 300 mm de dépôts métalliques pour les applications BEOL. Il est destiné à réaliser des étapes de pre-clean (retrait CuOx), dépôts barrier TaN, liner Co et Cu seed …