Accord-cadre de fourniture de groupe de pompage

t (PVD process, PVD pre-clean...), gravure (oxide Etch, Silicon Etch...), epitaxie, implanteur, traitement thermiques, recuit rapide... Les pompes devront être de type sèche et disposer d'un mode idle.

Le CEA de Grenoble souhaite mettre en place un accord-cadre à marchés subséquents multi-attributaires permettant la fourniture de groupe de pompage. Ces périphériques pourront être rattachés à l'un de ces ateliers : dépô