Obiectul contractului îl reprezinta achiziţia unui: Echipament de tip „sistem de litografie cu fascicul de electroni” (Electron Beam Lithography – EBL), sau "echipament pentru nanolitografie", cu fascicul gaussian și sca…
nare vectorială, dedicat aplicațiilor de înaltă rezoluție și viteză. Sistemul trebuie să includă toate subsistemele necesare, precum și toate componentele software și de control asistat de calculator necesare operării complete. Singurele utilități puse la dispoziție de către achizitor vor fi: alimen
tarea electrică, aerul comprimat curat (CDA) și azotul uscat. Echipamentul ce urmează a fi achiziționat va fi folosit exclusiv în scop de cercetare avansată în domeniul nanotehnologiilor, în special pentru structuri sub-10 nm și modele comp