Hierbei handelt es sich um "spezielles" Vakuumzubehör (Vakuumessgeräte und Vakuumpumpen) für unser Beschichtungszentrum (--> hierbei handelt es sich um die drei vorhandene (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideranlagen …
der Firma Fa. Leybold GmbH) innerhalb des INCYTE Reinraums. Es handelt sich um folgendes Zubehör: 3 Stück Leybold ECODRY 65 plus Wälzkolbenpumpe • Trocken verdichtend, Abriebfreies Pumpprinzip, Manuell zuschaltbarer Gasballast zum Pumpen von Wasserdampf, Integriertes Rückschlagventil im Auspuff • M
ax. Saugvermögen ohne Gasballast: 55 m³/h • Enddruck ohne Gasballast: 3 x 10-2 mbar • Leckrate: < 1E-5 mbar l/s • Wasserdampfkapazität (mit Gasballast): 500 g/h • Schalldruckpegel bei Enddruck: 52 dB(A) • Schutzart: IP 42 • Ansaugflansch: D