Acquisition d'un cluster à 3 chambres de pulvérisation cathodique pour les besoins de FEMTO-ST

inces disponibles dans la centrale de technologique MIMENTO de l’Institut FEMTO-ST, et sera positionné dans une salle blanche, dans la ressource « Dépôts/Traitements thermiques ».

L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir un cluster de dépôt de couches minces par la technique de pulvérisation cathodique. Le cluster complétera la gamme des moyens de déposition de couches m