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Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems

Tender information

TED EU

Leipzig, Germany

Type
36
Procedure
open
Ref. number
79976-2025
CPV
38000000

Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächenbear-beitung optischer Substrate unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauer-stoff, Stickstoff und ähnlich zum spätere

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