Single side polished Silicon test wafer

siert auf Siliziumsubstraten, was eine umfangreiche Versorgung mit Siliziumwafern erforderlich macht. Um einen ausreichenden Vorrat zu gewährleisten, bestellt das CMi alle vier Jahre neue Wafer, um die kontinuierliche Verfügbarkeit für Benutzer und Mitarbeitende sicherzustellen.

Die EPFL beabsichtigt, Silizium-Testwafer sowie doppelseitig polierte Siliziumwafer für ihr Zentrum für Mikro- und Nanotechnologie (CMi) im Reinraum zu beschaffen. Ein bedeutender Teil der Verfahrensentwicklung am CMi ba