Accord-cadre de fourniture de système d’abattement sec des effluents

e ces ateliers : dépôt (PVD process, PVD pre-clean...), gravure (oxide Etch, Silicon Etch...), epitaxie, implanteur, traitement thermiques, recuit rapide... Ces périphériques devront disposer d'un mode idle.

Le CEA de Grenoble souhaite mettre en place un accord-cadre à marchés subséquents multi-attributaires permettant la fourniture de système d'abattement sec des effluents. Ces périphériques pourront être rattachés à l'un d