Fourniture d’un équipement de type « wet bench »

amme d’applications dans les semi-conducteurs. Cet équipement devra réaliser des séquences de nettoyages chimiques standards basées sur du SC1, SC2, acide fluorhydrique (HF), ozone et du séchage à base d’isopropanol (IPA). Les dilutions et mélanges chimiques doivent pourvoir être flexibles et prépar

és d’une manière automatisée. L’équipement doit inclure un cabinet chimique chauffé dédié aux acides et bases, où le remplissage est manuel. Cet équipement doit pouvoir traiter une large gammes de plaques : des susbtrats de différents diamè