Fourniture d’un module de métrologie intégrée CMP 200mm multi purpose

iter des plaquettes de 200 mm et doit être entièrement intégré et connecté à l'outil CMP. Cet équipement sera utilisé comme système de mesure pour contrôler le processus CPM. Il doit être intégré et connecté au nouvel outil CEA-LETI de 200 mm. L'outil de métrologie doit pouvoir d'effectuer des mesur

es automatiques sur des substrats en silicium ou en verre. Il doit manipuler et mesurer des plaquettes de silicium de 200 mm, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyd