Eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off

Deadline:06 Aug 2024, 01:00 CEST

Tender information

TED EU

Lausanne, Switzerland

Type: 16
Procedure: open
Ref. number: 387021-2024
CPV: 38000000

Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) eine manuelle Bank für das Solvent-Lift-Off anzuschaffen. Die Bewertung basiert auf Prozessleistung, Robustheit des Werkzeugs, Benutzerfreundlichkeit/War…

tung und schnellen Schulungszeiten. Die Leistung wird hinsichtlich erreichbarer Einheitlichkeit, Reproduzierbarkeit und Zeit beurteilt. Allgemeine Anforderungen sind: •Durchführung des Solvent-Lift-Off-Prozesses auf einer 25-Wafer-Kassette (<=150 mm) mit den bekanntesten Methoden unter Verwendung vo

n 4 Bäder (siehe Dokument). •Einfache Bedienung, Verwaltung (Rezeptverwaltung) und Wartung. Geringer Bedarf an Abgas- und Stromleistung sowie Chemikalien pro Durchlauf. •Hochwertiger Support und langfristige Verfügbarkeit von Ersatzteilen.

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