Fourniture d'un scanner de lithographie optique 248 nm

particulièrement les niveaux métal, via et implant. Le marché envisagé comprend les options suivantes, qui sont levées à la notification du marché : . Option 1 : Possibilité d’utiliser au moins 6 éléments optiques diffractifs. . Option 2 : Capacité à traiter des plaques déformées avec un bow compri

s entre -500 µm et 350 µm. . Option 3 : Capacité à traiter des plaques d'épaisseur comprise entre 500 µm et 1 mm. . Option 4 : Capacité à manipuler les plaques transparentes. . Option 5 : Capacité à corriger finement la topographie des plaq