Zakup systemu referencyjnego do pomiaru odchyłek kształtu

SO 1101, filtr Gauss 15 W/U). 2. Rozdzielczość kątowa osi obrotowej: ≤ 0,0001°. 3. Zakres prędkości obrotowej stołu: od 0,5 do min. 200 obr./min, definiowana przez użytkownika 4. Najmniejsza odległość próbkowanych punktów pomiarowych osi poziomej i ponowej <= 1nm 5. Dokładność pozycjonowania osi pio

nowej, poziomej i obrotowej, określona zgodnie z ISO 230-2 (lub równoważną procedurą badawczą) ≤ 2 μm. 6. Obsługa dwóch technologii pomiarowych: czujnik stykowy i czujnik optyczny (np. chromatyczny sensor światła białego) umożliwiający pomi