Fourniture d’un équipement permettant de constituer et gérer un stock de FOUP de 300mm (ou 12’’) pour l’Institut LETI du CEA.

t doit traiter des plaques de 300 mm de diamètre et est destiné à stocker 500 containers FOUP dans un environnement contrôlé en terme de qualité de l’air (compatible salles blanches). La livraison des FOUP doit pouvoir se faire via un opérateur ou par OHT.

Pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI 10nm et au-delà, le CEALETI souhaite acquérir un équipement qui permettra de constituer et gérer un stock de FOUP de 300mm (ou 12''). Cet équipemen