maskenloses UV-Direktlithographie-System
Tender information
TED EUJena, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 489803-2026
- Estimated value
- 190,785 EUR
- CPV
- 38000000
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasiert…