Acquisition d?un réacteur PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

ubstrats rigides ou souples et notamment sur des nouveaux polymères issus de synthèses biosourcées pouvant à terme remplacer dans certains cas des substrats tel que le kapton, PEN PET? Cet équipement confortera le positionnement à l?avant-garde de l?IETR sur les technologies de fabrication d?électro

nique flexibles et plus notamment encore sur les circuits électroniques utilisant des substrats et des matériaux biosourcés pour diminuer l?impact environnemental de la fabrication des dispositifs à semi-conducteur.