Fourniture d’un équipement automatique hybride de profilométrie de type « WLI » (« White Light Interferometry » en anglais »).

gamme de hauteur de marches et de rugosités de surface sur des dispositifs manufacturés au CEA-Leti. L’équipement intègrera la technique d’Interférométrie à Lumière blanche sur Champ complet (Full-field White Light Interferometry - WLI) afin de mesurer des larges surfaces (quelques cm²) combinée à

un Microscope à Force Atomique (AFM) pour mesurer des zones de quelques µm² avec une plus haute résolution. Les deux modules de mesure (WLI et AFM) doivent pouvoir être utilisées séparément ou conjointement grâce à un software. L’équipement