»Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)
Tender information
TED EUMünchen, Germany
- Type
- 29
- Procedure
- neg-wo-call
- Ref. number
- 546815-2025
- CPV
- 73100000
Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)