Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem

Software und schwingungsdämpfende Tische beschafft werden. Das Weißlichtinterferometersystem (Fachlos 1) und das konfokale Laserscanningmikroskop (Fachlos 2) werden als Komplettsystem ausgeschrieben. Die technischen Anforderungen an das Weitfeldmikroskop (Fachlos 3) können nach intensiver Markterku

ndung nur durch einen Eigenbau der Arbeitsgruppe "Physik und Angewandte Lasertechnik" erfüllt werden, was eine Aufteilung in Teillose notwendig macht. Übersicht der Lose: Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Fachlos 2: Konfokales 3D-