Fourniture d’un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant

d’une taille minimale de 150 nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. Deux modules optionnels sont ciblés: un outil d’inspection face arrière et un outil avancé de revue permettant une imagerie haute résolution. Le marché

envisagé comprend deux options à chiffrage obligatoire et quatre options à chiffrage facultatif : - Options avec chiffrage obligatoire : . Option 1 (fourniture optionnelle) : Module d’inspection face arrière . Option 2 (fourniture optionne