Fourniture d’un équipement de dépôt diélectrique back end (back end of line dielectric deposition equipment) déposant de fines couches de carbone amorphe.

tif suivantes : o Option n°1 : Capacité à réaliser les dépôts décrits dans le procédé 2 « Amorphous carbon (≤ 400°C) for patterning application (SADP 1) » (cf §2.2 page 8/62 du CdC), o Option n°2 : Capacité à réaliser les dépôts décrits dans le procédé 3 « Amorphous carbon (≤ 400°C) for patterning a

pplication (SADP 2) » (cf §2.3 page 9/62 du CdC), o Option n°3 : Echangeurs de chaleurs et refroidisseurs/chilleur (cf §3.2.6 page 12/62 du CdC). o Option n°4 : Transformateur électrique (cf §4.1.4 page 22/62 du CdC), o Option n°5 : Formati