Ionenstrahltrimanlage

zu trimmen. Weiterhin soll die Anlage unterschiedlichste Wafer auf Dicke trimmen, sodass weniger als 1nm Dickenabweichung pro Wafer realisiert werden können.

Ausgeschrieben wird eine Ionenstrahltrimmanlage, die im Reinraum des PhoQSLabs der Universität Paderborn betrieben werden soll. Dort wird es die Aufgabe der Maschine sein, photonisch integrierte Schaltkreise in der Dicke