System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Tender information
TED EUFrankfurt (Oder), Germany
- Type
- 29
- Procedure
- open
- Ref. number
- 466793-2024
- Estimated value
- 2,335,634 EUR
- CPV
- 38000000
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS