Fourniture d’un équipement de gravure par plasma 300mm

L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi

qu’une chambre de gravure d’oxyde fin. Le marché comporte : • Des options avec chiffrage obligatoire : o Option n°1 : La fourniture d’une chambre multi-matériaux o Option n°2 : La fourniture d’une chambre oxyde de silicium o Option n°3 : La