LOT n°1 : Prestation de remise à niveau (retrofit) d’un équipement de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique (OERLIKON UNIVEX 450C)

ment de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique (OERLIKON UNIVEX 450C) (marché de service). L'équipement de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique (OERLIKON UNIVEX 450C) est dans les locaux du LAAS-CNRS. Les spécifications techniques sont précisées dans le CCP n°26071 commun aux deux lots

. Le lot n° 2 a pour objet la fourniture de pompes turbo moléculaires neuves pour l’équipement de dépôt sous vide par pulvérisation cathodique (OERLIKON UNIVEX 450C) (marché de fourniture). Les spécifications techniques sont précisées dans