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Vapour-HF-Ätzsystem

Tender information

TED EU

Jena, Germany

Type
29
Procedure
open
Ref. number
169467-2026
Estimated value
500,000 EUR
CPV
38000000

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstant

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